密析爾公司不斷改進(jìn)石英晶體振蕩微平衡技術(shù)，最新研發(fā)了新產(chǎn)品QMA401。最新型的分析儀采用新一代的精密石英晶體傳感器，確保高精度的測量，不受背景氣體成分改變的影響。即使其他濕度技術(shù)在低于1ppm的微水領(lǐng)域表現(xiàn)不佳，采用行業(yè)認(rèn)可的晶體振蕩技術(shù)的最新產(chǎn)品QMA401，卻可以提供高可靠性和簡便的測量，并且大大降低用戶的維護(hù)成本費(fèi)用。

可靠性

為了保證高可靠性，QMA401的主要部件 — 濕度發(fā)生器，傳感器和流量控制裝置 — 確保了精確控溫。確保樣氣或環(huán)境溫度變化時(shí)，測量結(jié)果不受影響。這款分析儀采用質(zhì)量流量計(jì)確保精確控制樣氣和標(biāo)準(zhǔn)氣的流量，使流量精度不超過±0.1 ml/分鐘。外加一個(gè)壓力傳感器，確保樣氣壓力產(chǎn)生波動(dòng)的情況下，這個(gè)系統(tǒng)也能持續(xù)保證測量和計(jì)算參數(shù)的精確度。

QMA401 微水分析儀亮點(diǎn)

• 全量程從0.1 ~ 2000 ppmV 范圍，實(shí)現(xiàn)高精度的測量

• 使用簡便，現(xiàn)場維護(hù)方便快捷，維護(hù)成本低

• 精度高達(dá) 0.1ppmV或讀數(shù)的10%，取較大值

• 針對變化中取樣條件進(jìn)行可靠的測量 — 根據(jù)樣氣壓力和流量的變化進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整

• 不受背景氣體組分改變的影響

• 維護(hù)間隔時(shí)間長

• 十分鐘時(shí)間就可以替換干燥筒

• 直觀的菜單界面

• Ethernet或者 USB 數(shù)字通訊

• SD卡數(shù)據(jù)記錄

• 可選內(nèi)置取樣系統(tǒng)和旁路

QMA401 微水分析儀應(yīng)用

• 高純氣生產(chǎn)

• 空分企業(yè)

• 半導(dǎo)體 CVD 潔凈室

• 半導(dǎo)體蝕刻室

• 發(fā)電機(jī)氫冷裝置

• 塑料粒子干燥

技術(shù)參數(shù)

性能

測量技術(shù) 快速響應(yīng)的石英晶振技術(shù)

校驗(yàn)范圍 0.1 ~ 700ppmV

測量范圍 0.1 ~ 2000 ppmV

精度 0.1 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV）

讀數(shù)的 ±10%（1 ~ 2000 ppmV）

重復(fù)性 ±0.1 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV）

讀數(shù)的±5% （ 1 ~ 2000 ppmV）

最小測量值 0.1 ppmV

測量單位 ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf

響應(yīng)速度 T63 <2 分鐘 T95 <5 分鐘

自動(dòng)校驗(yàn) 內(nèi)部濕度發(fā)生器

可溯源到NPL 到 NIST

靈敏度 0.1 ppmV 或讀數(shù)的1%，取較大值

電氣參數(shù)

供電 85 ~ 264 V AC, 47/63Hz, 110 ~ 300 V DC

最大功耗 111 W

報(bào)警 1 x 系統(tǒng)報(bào)警，無電壓轉(zhuǎn)換(FORM C)

3 x 過程報(bào)警，可選各種參數(shù)，無電壓轉(zhuǎn)換

(FORM C)

通訊 模擬輸出：4-20 mA或 1 ~ 5 V2種可選

數(shù)字通訊： RS485/USB Modbus RTU, Ethernet 

Modbus TCP

數(shù)據(jù)記錄 直接記錄到 SD 卡或通過 PC 應(yīng)用軟件傳輸

顯示 7" 彩色LCD觸摸屏

工作條件

進(jìn)氣壓力 最大1 barg

可選高壓版：最高300 barg

出氣壓力 大氣壓

樣氣流量 300ml/分鐘，總流量 @ 大氣壓

樣氣溫度 0 ~ +100°C

工作環(huán)境 +5 ~ +45°C，最高達(dá)到 90% RH

機(jī)械參數(shù)

外殼 19" x 4U x 434mm 外殼

氣體接口 1/4" VCR(M)

重量 13.5kg